Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 115 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

5. Вернер В.Д., Иванов А.А., Коломенская Н.Г., Лучинин В.В.,

Мальцев П.П., Попова И.В., Сауров А.Н., Телец В.А. Изделия

микросистемной техники – термины и определения, классифика-

ция и обозначения типов // Нано- и микросистемная техника.–

2008.– №1.– С. 2-5.

6. Мальцев П.П. О классификации в области микросистемной тех-

ники // Нано- и микросистемная техника.– 2005.– №1.– С. 9-10.

7. Гольцова М.М., Юдинцев В.А. МЭМС: большие рынки малых

устройств // Нано- и микросистемная техника.– 2008.– №4.– С. 9-

13.

8. Гридчин В.А., Драгунов В.П. Физика микросистем: Учеб. посо-

бие. В 2 ч. Ч.1.– Новосибирск: Изд-во НГТУ, 2004.– 416 с.

9. Распопов В.Я. Микромеханические приборы. – М.: Машино-

строение.– 2007. – 400 с.

10. Васенко А., Епифанов В., Юдинцев В. Микроэлектромеханиче-

ские системы. Настало время выходить в свет // Электроника:

Наука, Технология, Бизнес.– 1998.– №5-6.– С.55-59.

11. Подлепецкий Б. Интегральные полупроводниковые сенсоры: со-

стояние и перспективы разработок // Chip news.– 1998.–

№5(26).– С.38-45.

12. Фрайден Дж. Современные датчики. Справочник.– М.: Техно-

сфера, 2005.– 592 с.

13. Виглеб Г. Датчики. Устройство и применение.– М.: Мир.–

1989.– 196 с.

14. Варадан В., Виной К., Джозе К. ВЧ МЭМС и их применение.–

М.: Техносфера, 2004.– 528 с.

15. Шарапов В. Пьезоэлектрические датчики.– М.: Техносфера,

2006.– 632 с.

16. Лысенко И.Е. Проектирование сенсорных и актюаторных эле-

ментов микросистемной техники.– Таганрог: Изд-во ТРТУ,

2005.– 103 с.

115