ВУЗ:
Составители:
Технология изготовления сенсоров магнитного поля МСТ полно-
стью совместима с технологией изготовления ИС, что позволяет созда-
вать сенсорные элементы данного вида совместно с устройствами об-
работки, хранения и передачи информации на одном кристалле.
Контрольные вопросы
1. Эффект Зеебека.
2. Эффект Пельтье.
3. Эффект Томсона.
4. Элемент Холла.
5. Двухколлекторный магнитотранзистор.
6. Сенсорные компоненты МСТ. Часть 3.
Сенсоры угловых скоростей
Механические величины можно разделить на три группы [16].
К первой группе относятся линейные и угловые размеры. Это гео-
метрические параметры различных объектов, характеристики профи-
лей и шероховатости поверхностей, расстояние, параметры износа тру-
щихся частей и т.д.
Ко второй группе относятся различные силовые воздействия. Это
механические напряжения в деталях и конструкциях, приложенная
сила, крутящие моменты, давления жидкостей и газов, разности давле-
ний и т.д.
Третью группу механических величин составляют параметры дви-
жения. Это перемещение объектов в пространстве, линейные и угло-
вые скорости перемещения, ускорения.
Для создания сенсоров механических величин используют мем-
бранные или балочные упругие элементы с различными топологиче-
скими параметрами [16].
Принцип действия сенсоров угловых скоростей (гироскопов)
основан на оптических и пьезоэлектрических эффектах, эффекте изме-
нения электрической емкости (упругие элементы являются обкладка-
ми конденсатора в емкостных сенсорах механических величин), эф-
фекте изменения частоты колебаний (микромеханический резонатор)
40
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 38
- 39
- 40
- 41
- 42
- …
- следующая ›
- последняя »