Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 38 стр.

UptoLike

R
h
= qn
1
.
Угол Холла определяется с помощью следующего выражения
[16]:
tg Θ=
E
h
E
e
=
U
h
U
e
l
w
=μ
n
¿
B
,
где
U
e
напряжение электрического поля;
l
длина сенсора;
μ
n
¿
подвижность Холла [16]:
μ
n
¿
=σR
n
.
Ко второй группе применений сенсоров магнитного поля относит-
ся обнаружение немагнитных сигналов: обнаружение электрического
тока по его магнитному полю, регистрация механического перемеще-
ния, определение направления воздействия магнитного поля. Домини-
рующую роль в данной группе применений сенсоров магнитного поля
будут играть миниатюрные системы ориентации, навигации и управле-
ния [16].
При использовании в данных системах сенсоры магнитного поля
объединяют в магниточувствительные микросистемы, содержащие ин-
тегральные двухколлекторные горизонтальные и вертикальные бипо-
лярные магнитотранзисторы, многостоковые МОП-транзисторы [16].
Биполярные магнитотранзисторы более универсальны и могут
применяться для измерения всех компонентов вектора индукции маг-
нитного поля и определения направления его воздействия. Кроме того,
сенсоры магнитного поля на основе двухколлекторных биполярных
магнитотранзисторов по сравнению с сенсорами магнитного поля на
основе МОП-транзисторов обладают более низким температурным ко-
эффициентом магниточувствительности.
Двухколлекторные магнитотранзисторы представляют собой би-
полярные транзисторы с коллектором, разделенным на два, причем
каждый коллектор со своим выводом (рис. 22). Оба коллектора распо-
ложены симметрично по отношению к эмиттеру. Поэтому при отсут-
ствии магнитного поля носители заряда поровну распределяются меж-
ду коллекторами [16]:
38