Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 58 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Рис. 35. Акселерометр с нагреваемым газом

Ускорение акселерометра в любом из направлений из-за конвек-

ционной теплопередачи изменит температурный профиль, который

станет несимметричным. Под действием ускорения теплые молекулы

газа смещаются к правому ТЭ, передавая ему часть своей энергии. В

результате этого температуры, а, следовательно, и выходные напряже-

ния правого и левого ТЭ перестанут быть равными (Т

< Т

). Разница

температур ΔТ, а значит, и напряжение между выходами ТЭ прямо

пропорциональна ускорению. В данной конструкции существует два

идентичных измерительных канала, позволяющих определять ускоре-

ние вдоль оси Х и оси Y.

Для регистрации линейных ускорений по трем осям чувствитель-

ности используют комбинации одно- и двухосевых микромеханиче-

ских акселерометров, как на одной подложке в одном корпусе (рис.

35), так и на разных подложках в разных корпусах [9].

Контрольные вопросы

1. Микромеханические акселерометры L-типа.

2. Микромеханические акселерометры R-типа.

3. Акселерометры с нагреваемой пластиной.