Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 60 стр.

UptoLike

Термоактюаторы были разработаны одними из первых и исполь-
зовались в сенсорах измерения и определения потоков жидкости и га-
зов в качестве нагревательных элементов [16].
Основное применение термоактюаторы нашли в механизмах гори-
зонтального и вертикального поворота структур элементов МСТ [16].
Принцип работы термоактюаторов основан на тепловом расшире-
нии структурных материалов элементов микросистемной техники.
Если при однородном нагреве температура твердого тела возрас-
тает на
ΔT
, то тело испытывает деформацию, описываемую следую-
щим выражением (рис. 37) [16]:
ε =αΔT
,
где α – коэффициент теплового расширения;
ΔT
– температура.
Рис. 37. Деформация термоактюатора при нагреве
Деформацией твердого тела называется изменение его размеров и
объема:
ε =
Δl
l
,
где
Δl
– абсолютное удлинение;
l
– первоначальный размер тела.
Абсолютное удлинение термоактюатора определяется следующим
выражением:
Δl =lαΔT
.
Напряжением называется физическая величина, равная упругой
силе, приходящейся на единицу площади сечения тела:
,
где F сила; S площадь сечения, расположенная перпендикулярно
60