Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 59 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

4. Акселерометры с нагреваемым газом.

5. ММА прямого и компенсационного преобразования.

Рис. 35. Интегральная сенсорная микросистема для измерения

линейных ускорений по трем осям чувствительности

8. Актюаторные элементы МСТ. Микромеханические ключи

Актюатор – это механическое устройство, которое преобразовыва-

ет различные виды энергии (электрическая, химическая или термиче-

ская) в механическую работу, излучение тепла и света (рис. 36) [16].

В настоящее время разработаны термические, термопневматиче-

ские, пьезоэлектрические, электростатические и магнитные актюаторы

[16].

Топологические размеры актюатора

Физические и механические

свойства материала актюатора

Приложенная

энергия:

электрическая,

термическая,

химическая

Механическое

перемещение

Нагревание

Излучение света

Рис. 36. Преобразование входной энергии в работу актюатора