ВУЗ:
Составители:
ванием технологии объемной микрообработки и LIGA-технологии.
Рис. 39. Структура пьезоэлектрического актюатора
Следующим типом актюаторных элементов МСТ являются элек-
тростатические актюаторы. В общем виде электростатический актюа-
тор содержит подвижный и неподвижный электроды (рис. 40) [16].
Рис. 40. Электростатический актюатор
В качестве подвижного электрода выступают консольные балки и
мембраны.
Принцип действия данных актюаторов основан на возникновении
электростатической силы между подвижным и неподвижным электро-
дами.
При подаче отклоняющего напряжения на неподвижный электрод
относительно подвижного, на последний начинает действовать элек-
тростатическая сила, определяемая выражением [16]:
63
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 61
- 62
- 63
- 64
- 65
- …
- следующая ›
- последняя »
