Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 65 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

ляется с помощью следующего выражения [16]:

M =q

⋅l

NiFe

⋅H⋅sinα

где

NiFe

– длина слоя NiFe; α – угол между направлением напря-

женности магнитного поля и плоскостью актюатора.

Рис. 41. Магнитный актюатор

Данный тип актюаторов нашел широкое применение в интеграль-

ной микросборке элементов МСТ [16].

Основной недостаток магнитных актюаторов – необходимость ис-

пользования внешних источников магнитного поля.

Данный тип актюаторов изготавливается по MUMPs-технологии.

В настоящее время актюаторные элементы микросистемной тех-

ники широко используются при создании актюаторных микросистем,

таких как микронасосы, интегральные микрозеркала и микромехани-

ческие ключи [16].

Интегральные микромеханические ключи

Принцип действия микромеханических ключей может быть элек-

тростатическим, магнитным или электромагнитным. Каждый из пере-

численных принципов имеет свои достоинства и недостатки. Электро-

магнитная активация микромеханических ключей позволяет снизить

напряжения срабатывания, но при высоком потреблении тока. Пре-

имущество микромеханических ключей с электростатической актива-