Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 66 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

цией заключается в отсутствии потребления тока, а недостаток – в вы-

соком напряжении срабатывания (5-100 В). Ключи с таким видом ак-

тивации применяются в микросистемах, для которых важным факто-

ром является низкая потребляемая мощность [16].

Большинство микромеханических ключей с электростатической

активацией, в качестве подвижного элемента, содержат консольную

балку. Область, к которой непосредственно присоединена консольная

балка, принято называть истоком. Область, расположенная под кон-

сольной балкой и используемая для создания электростатической

силы, называется затвором. Область, с которой происходит механиче-

ский контакт консольной балки при ее отклонении от первоначального

положения, за счет действия электростатической силы, называется об-

ластью стока (рис. 42) [16].

Рис. 42. Микромеханический ключ

При инверсном режиме работы область истока подключена к

шине питания, а область стока – к шине нулевого потенциала. При от-

сутствии отклоняющего напряжения между областью затвора и кон-

сольной балкой, соединенной с областью истока, возникает электро-

статическая сила, которая притягивает консольную балку к затвору.

Это приводит к возникновению электрического контакта между исто-