Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 68 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

На рис. 44 показан график изменения зазора в зависимости от от-

клоняющего напряжения [16].

Рис. 44. Зависимость изменения зазора от приложенного напряжения

(при толщине балки 0,5 мкм и площади области затвора 4*104 мкм2):

1– переход из разомкнутого состояния в замкнутое;

2– переход из замкнутого состояния в разомкнутое;

Избавиться от гистерезиса можно только, если микромеханиче-

ский ключ будет замыкаться, до того как консольная балка достигнет

точки потери стабильности. При этом пороговые напряжения включе-

ния и выключения будут одинаковыми [16].

При проектировании микромеханических ключей необходимо

учитывать такой эффект как прилипание консольной балки к поверх-

ности кристалла. В основе данного эффекта лежит действие микроско-

пических сил на поверхности контактов и, следовательно, этот эффект

в сильной степени зависит от морфологии поверхности контактов.

Проблема залипания подвижных частей особенно остро стоит для

ключей с металлическими контактами.

Основными элементами любой электрической цепи являются: ис-

точник электрической энергии, нагрузка или подключенные устрой-

ства и замкнутый контур для обеспечения протекания тока. Если лю-

бой из этих элементов отсутствует, тока в цепи не будет, и, следова-

тельно, электрическая энергия от источника не дойдет до подключен-

ных устройств. При разработке микромеханических ключей суще-