Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 67 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

ком и стоком. Интегральный микромеханический ключ замкнут. При

подаче отклоняющего напряжения между затвором и консольной бал-

кой, последняя возвращается в исходное положение. Микромеханиче-

ский ключ находится в разомкнутом состоянии (рис. 43) [16].

При нормальном режиме работы область стока подключена к

шине питания, а область истока – к шине нулевого потенциала. В от-

сутствие отклоняющего напряжения между областью затвора и кон-

сольной балкой, последняя находится в исходном положении и элек-

трический контакт исток-сток отсутствует. Интегральный микромеха-

нический ключ находится в разомкнутом состоянии. При подаче от-

клоняющего напряжения на область затвора относительно консольной

балки между ними возникает электростатическая сила [16].

Микромеханические ключи с электростатической активацией об-

ладают гистерезисом. Это связано с потерей стабильности механиче-

ских структур, вызванное неконтролируемым электростатическим

притяжением. Если конструкция микромеханического ключа позволя-

ет балке переходить точку потери стабильности, то ключ замыкается и

не размыкается до тех пор, пока отклоняющее напряжение не станет

ниже порогового напряжения выключения, т.е. появляется гистерезис

[16].

Рис. 43. Режимы работы микромеханический ключей