ВУЗ:
Составители:
F
эл
=
C
d
⋅
∫
0
U
U⋅dU =
C⋅U
2
2⋅d
,
где d – расстояние между подвижным и неподвижным электродами; C
– емкость, создаваемая подвижным и неподвижным электродами.
При подаче отклоняющего напряжения U между подвижным и не-
подвижным электродами возникает электростатическое взаимодей-
ствие и подвижный электрод притягивается к неподвижному. По мере
отклонения подвижного электрода от первоначального положения рас-
стояние между электродами d будет уменьшаться, что приводит к уве-
личению электростатической силы
F
эл
. Следовательно, при расчете
электростатической силы, действующей на подвижный электрод отно-
сительно неподвижного, необходимо учитывать уже совершенное от-
клонение [16]:
F
эл
=
1
2
ε⋅ε
0
⋅S
d − y
2
U
2
.
При изготовлении электростатических актюаторов могут исполь-
зоваться технологии поверхностной и объемной микрообработки и
MUMPs-технология.
Магнитные актюаторы являются новым типом актюаторных эле-
ментов МСТ. Принцип их работы основан на деформации поликрем-
ниевых балок или мембран, с нанесенным на них слоем пермаллоя
(NiFe), под действием внешнего магнитного поля (рис. 41).
При помещении во внешнее магнитное поле генерируются две
компоненты магнитной силы F
1
и F
2
, определяемые выражениями [16]:
F
1
=q
m
⋅H
;
F
2
=−q
m
⋅H
,
где
q
m
– магнитный заряд;
H
– напряженность внешнего магнитно-
го поля.
Крутящий момент, создаваемый магнитным актюатором, опреде-
64
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 62
- 63
- 64
- 65
- 66
- …
- следующая ›
- последняя »
