Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 7 стр.

микрообъемах, в том числе обратимого, тепловой энергии в другие

виды энергии;

– флюидное микроустройство: микроустройство, обеспечивающее

выполнение функций за счет локализации, течения, разделения, хране-

ния микро- и наноколичеств жидкости или газа, а также их физико-хи-

мических превращений под действием внешних электрических, маг-

нитных, оптических, механических, тепловых и химических воздей-

ствий;

– биотехническое микроустройство: микроустройство, обеспечи-

другими конструкциями;

– микродвигатель: микроустройство, выполняющее управляемое

преобразование какого-либо вида энергии в работу. Микродвижитель:

микроустройство, выполняющее функции автономного или управляе-

мого движения;

– микроактюатор: микроустройство, выполняющее работу за счет

потребления и преобразования энергии.

Существуют следующие виды элементов микросистем [3-6]:

– микроподвес: элемент микросистемы, соединяющий две движу-

щиеся части микросистемы;

– микрогребень: элемент микросистемы в форме встречно-штыре-

вой консоли, осуществляющий заданное движение под воздействием

управляющего сигнала;

– микроторсион: элемент микросистемы, работающий на изгиб и

кручение под воздействием управляющего сигнала;

– микроякорь: элемент микросистемы, неподвижный и служащий