ВУЗ:
Составители:
микрообъемах, в том числе обратимого, тепловой энергии в другие
виды энергии;
– флюидное микроустройство: микроустройство, обеспечивающее
выполнение функций за счет локализации, течения, разделения, хране-
ния микро- и наноколичеств жидкости или газа, а также их физико-хи-
мических превращений под действием внешних электрических, маг-
нитных, оптических, механических, тепловых и химических воздей-
ствий;
– биотехническое микроустройство: микроустройство, обеспечи-
вающее выполнение исполнительных функций за счет интеграции с
объектами и веществами биологической природы;
– корпус микросистемы: часть конструкции микросистемы, пред-
назначенная для защиты от внешних дестабилизирующих воздействий,
используемая при выполнении заданных функций и обеспечивающая
соединение с внешними электрическими цепями, механическими и
другими конструкциями;
– микродвигатель: микроустройство, выполняющее управляемое
преобразование какого-либо вида энергии в работу. Микродвижитель:
микроустройство, выполняющее функции автономного или управляе-
мого движения;
– микроактюатор: микроустройство, выполняющее работу за счет
потребления и преобразования энергии.
Существуют следующие виды элементов микросистем [3-6]:
– микроподвес: элемент микросистемы, соединяющий две движу-
щиеся части микросистемы;
– микробалка: элемент микросистемы с одним закрепленным кон-
цом;
– микробалка с двухсторонней фиксацией: элемент микросистемы
с двумя закрепленными или опертыми концами;
– микроопора: элемент микросистемы, соединяющий подвижную
часть конструкции с неподвижной основой – подложкой,
– микрогребень: элемент микросистемы в форме встречно-штыре-
вой консоли, осуществляющий заданное движение под воздействием
управляющего сигнала;
– микроторсион: элемент микросистемы, работающий на изгиб и
кручение под воздействием управляющего сигнала;
– микроякорь: элемент микросистемы, неподвижный и служащий
7
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 5
- 6
- 7
- 8
- 9
- …
- следующая ›
- последняя »
