Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 9 стр.

UptoLike

мое перемещение микрообъемов жидкостей;
Существуют следующие виды компонентов микросистем [3-6]:
– микропривод: компонент микросистемы, используемый для при-
ведения микрообъектов в состояние гармонических колебаний или
вращений под воздействием управляющего сигнала;
– микротрансмиссия: компонент микросистемы, используемый
для передачи вращения от микродвигателя к потребителям энергии;
– микроредуктор: компонент микросистемы, использующий зуб-
чатую или червячную передачу для управляемого изменения угловой
скорости и момента вращения микрообъекта;
– микропоршень: компонент микросистемы, который плотно
перекрывает поперечное сечение микрообъекта и перемещается в
направлении его оси при подаче управляющего сигнала или активиру-
ющей энергии;
– микромембрана: компонент микросистемы в виде тонкой
пленки или пластины, закрепленный по контуру и работающий на про-
гиб или вибрацию под воздействием управляющего сигнала;
– зубчатая микропередача: компонент микросистемы, предназна-
ченный для передачи вращательного движения, изменения частоты,
направления и характера вращения под воздействием управляющего
сигнала;
– зубчатое микроколесо: компонент микросистемы, имеющий
форму зубчатого колеса и предназначенный для передачи линейного
движения, изменения скорости, направления и характера движения
под воздействием управляющего сигнала;
– микропереключатель: часть конструкции микросистемы, выпол-
няющая функцию управляемого физического замыкания или размыка-
ния контактов;
– управляемый микрофильтр: компонент микросистемы, обеспе-
чивающий управляемое распространение механических воздействий
или электромагнитных волн оптического диапазона;
– угловой кубический микроотражатель: компонент микросисте-
мы, осуществляющий под воздействием управляющего сигнала моду-
лирование интенсивности отраженного электромагнитного излучения
оптического диапазона;
– микронасос: компонент микросистемы, выполняющий функцию
управляемого напорного перемещения микрообъемов жидкости, пара
9