Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 8 стр.

UptoLike

для закрепления других его частей или выполняющий вспомогатель-
ные конструктивно-технологические функции;
– микроограничитель: элемент микросистемы, предназначенный
для заданного уровня ограничения перемещений других подвижных
частей;
– микрорычаг: элемент микросистемы, имеющий точку опоры и
при воздействии управляющего сигнала выполняющий функцию урав-
новешивания большей силы меньшей;
– микрозажим: элемент микросистемы, осуществляющий управ-
ляемую фиксацию других его функциональных частей;
– микропинцет: элемент микросистемы, состоящий из двух пру-
жинящих пластинок и выполняющий управляемую функцию захваты-
вания и удерживания элементов микроструктуры;
– микропружина: элемент микросистемы, выполняющий функцию
временного накопления энергии за счет упругой деформации при воз-
действии управляемой нагрузки;
– микромаховик: элемент микросистемы, выполняющий функцию
аккумулятора механической энергии для выравнивания вращающих
моментов и нагрузки микровалов;
– микроклапан (микрозаслонка): элемент микросистемы, выполня-
ющий функцию управления расходом жидкости, пара или газа путем
управляемого изменения площади проходного сечения;
– переменный микроиндуктор: элемент микросистемы, выполняю-
щий функцию преобразования электрической энергии в энергию пере-
менного магнитного поля, индуктивность которого изменяется путем
управляемого перемещения элементов микроструктуры;
– переменный микроконденсатор: элемент микросистемы, выпол-
няющий функцию управляемого конденсатора, емкость которого изме-
няется путем перемещения элементов микроструктуры;
– микросопло: элемент микросистемы, представляющий собой ка-
нал специального профиля, предназначенный для управляемого разго-
на микрообъемов жидкостей или газов до заданной скорости и прида-
ния их потоку заданного направления;
– микродроссель: элемент микросистемы, обеспечивающий пони-
жение давления микрообъемов жидкостей или газов при их прохожде-
нии через сужение в канале или пористую перегородку;
– микроканал: элемент микросистемы, обеспечивающий управляе-
8