Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 72 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

9. Интегральные микрозеркала

Интегральные микрозеркала с электростатической активацией на-

ходят широкое применение в миниатюрных робототехнических систе-

мах (в качестве оптических ключей) и системах анализа и обработки

изображений (для отклонения лазерного луча и/или светового потока)

[16].

На рис. 45 приведена структура микрозеркала, изготовленного с

помощью технологии объемной микрообработки [16].

Рис. 45. Микрозеркало с электростатической активацией,

изготовленное с использованием технологии объемной

микрообработки

Для отклонения структуры микрозеркала используются два элек-

тростатических актюатора, создаваемых структурой микрозеркала и

двумя электродами, расположенными под структурой микрозеркала.

Структуру микрозеркала заземляют и на отклоняющие электроды по-

переменно подают напряжение. Между структурой микрозеркала и от-

клоняющими электродами возникает электростатическая сила, которая

отклоняет микрозеркало то в одну, то в другую сторону. Движение ми-

крозеркала осуществляется за счет кручения торсионных балок.

Изготовление данного микрозеркала с помощью технологии

объемной микрообработки затрудняет его использование в интеграль-