Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 74 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Когда отклоняющее напряжение убирается, микрозеркало под дей-

ствием силы упругости возвращается в исходное положение.

Рис. 47. Структура интегрального микрозеркала

с электростатической активацией

Электростатическая сила

, возникающая между отклоняю-

щим электродом и структурой микрозеркала, определяется следую-

щим выражением [16]:

ε⋅ε

⋅L

⋅W

где

– длина и ширина части отклоняющего электрода, рас-

положенной под структурой микрозеркала;

– отклоняющее

напряжение.

Жесткость пластин крепления определяется следующим выраже-

нием:

E⋅J

где

– длина пластин крепления.

Под действием электростатической силы

пластины крепле-

ния будут изгибаться по окружностям с центром в точке 0, радиусом

изгиба R и углом изгиба γ (рис. 48) [16].

Угол изгиба пластин крепления определяется выражением [16]: