ВУЗ:
Составители:
γ=
1
4
ε⋅ε
0
⋅L
ai
⋅W
ai
k⋅l
к
⋅
d −x
ai
2
U
ai
2
,
где х
ai
– отклонение, совершаемое структурой микрозеркала в сторону
отклоняющего электрода.
Напряжения замыкания, при котором произойдет контакт структу-
ры микрозеркала и отклоняющего электрода, определяется следую-
щим выражением [16]:
U
ai
¿
=
4
3
⋅γ
max
⋅
k⋅l
к
⋅d
3⋅ε⋅ε
0
⋅W
ai
.
На рис. 49 представлена зависимость отклонения структуры ми-
крозеркала х от отклоняющего напряжения
U
ai
.
Рис. 48. Модель движения структуры микрозеркала
Срез зависимости отклонения структуры микрозеркала x от откло-
няющего напряжения
U
ai
(рис. 49) соответствует режиму замыка-
75
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 73
- 74
- 75
- 76
- 77
- …
- следующая ›
- последняя »
