Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 76 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

ния структуры микрозеркала и отклоняющего электрода [16].

Как видно на рис.49, при достижении отклоняющим напряжением

значения напряжения замыкания возникает эффект неконтролируемо-

го электростатического притяжения, т.е. микромеханическая структу-

ра теряет стабильность. Это возникает из-за преобладания электроста-

тической силы над силой упругости.

В настоящее время разработано достаточно большое количество

одно- и двуосных микромеханических зеркал с электростатической ак-

тивацией.

На рис. 50 – 51 представлены структуры интегральных микро-

зеркал с электростатической активацией, получившие наиболее широ-

кое распространение [16].

Рис. 49. Зависимость отклонения структуры микрозеркала х

от отклоняющего напряжения

1 – d=2 мкм; 2 – d=4 мкм; 3 –d=6 мкм; 4 – d=8 мкм; 5 – d=10 мкм

Для получения больших углов отклонения микрозеркал необходи-

мо обеспечить большее расстояние между структурой микрозеркала и