ВУЗ:
Составители:
На рис. 52 представлено интегральное двуосное микрозеркало,
изготавливаемое с использованием технологии самосборки с помощью
электростатических микродвигателей [16].
Рис. 52. Интегральное микрозеркало с ЭМД
Данное микромеханическое устройство изготавливается в рамках
MUMPs-технологии.
Для уменьшения энергопотребления электростатических актюато-
ров, входящих в состав микрозеркал, целесообразно использовать гре-
бенчатые структуры, обладающие большей емкостью по сравнению с
плоскими.
На рис. 53 представлено интегральное микромеханическое зерка-
ло с гребенчатыми электростатическими актюаторами [16].
При подаче отклоняющего напряжения на подвижный электрод,
относительно неподвижного, на упругий подвес начинает действовать
крутящий момент силы, определяемый выражением
M =
1
2
⋅U
2
⋅
dC
dθ
,
где
dC
dθ
– изменение емкости между подвижным и неподвижным
электродами по мере отклонения микрозеркала от первоначального
положения.
78
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 76
- 77
- 78
- 79
- 80
- …
- следующая ›
- последняя »
