ВУЗ:
Составители:
Рис. 53. Интегральное микромеханическое зеркало
Интегральное микрозеркало отклоняется от своего первоначаль-
ного положения (рис. 54).
Рис. 54. Перемещение интегрального микромеханического зеркала
под действием отклоняющего напряжения
Если толщина пальцев подвижного и неподвижного электродов
79
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 77
- 78
- 79
- 80
- 81
- …
- следующая ›
- последняя »
