ВУЗ:
Составители:
В   этом   случае   угол   поворота   достигнет   некоторого   значения 
(θ=θ
0
) и максимальный крутящий момент будет определяться выраже-
нием [16]:
M
max
=
U
max
2
⋅N⋅ε
0
⋅ L
2
−d
2
2⋅g
,
где L – расстояние от оси вращения подвижного электрода до его края; 
d – расстояние от оси вращения до края неподвижного электрода.
Максимальный угол поворота будет определяться следующим вы-
ражением [16]:
θ
0
=sin
−1
tg
0
L
,
где  t  – толщина пальцев подвижного электрода;  g
0
  – расстояние от 
верхнего края неподвижного электрода до нижнего края подвижного 
электрода.
Изменение угла поворота от приложенного напряжения описыва-
ется трансцендентным уравнением [16]:
θ U =
M θ , U 
k
θ
=
U
2
2⋅k
θ
⋅
dC θ 
dθ
,
где 
k
θ
 – угловая жесткость упругого подвеса микрозеркала, опреде-
ляемая с помощью следующего выражения [16]:
k
θ
=
M
max
θ
0
=
U
max
2
⋅N⋅ε
0
⋅
[
t−g
0
2
sin
2
θ
0
−d
2
]
2⋅g⋅θ
0
.
81
Страницы
- « первая
 - ‹ предыдущая
 - …
 - 79
 - 80
 - 81
 - 82
 - 83
 - …
 - следующая ›
 - последняя »
 
