Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 81 стр.

UptoLike

В этом случае угол поворота достигнет некоторого значения
(θ=θ
0
) и максимальный крутящий момент будет определяться выраже-
нием [16]:
M
max
=
U
max
2
Nε
0
L
2
d
2
2g
,
где L – расстояние от оси вращения подвижного электрода до его края;
d – расстояние от оси вращения до края неподвижного электрода.
Максимальный угол поворота будет определяться следующим вы-
ражением [16]:
θ
0
=sin
1
tg
0
L
,
где t толщина пальцев подвижного электрода; g
0
расстояние от
верхнего края неподвижного электрода до нижнего края подвижного
электрода.
Изменение угла поворота от приложенного напряжения описыва-
ется трансцендентным уравнением [16]:
θ U =
M θ , U
k
θ
=
U
2
2k
θ
dC θ
,
где
k
θ
угловая жесткость упругого подвеса микрозеркала, опреде-
ляемая с помощью следующего выражения [16]:
k
θ
=
M
max
θ
0
=
U
max
2
Nε
0
[
tg
0
2
sin
2
θ
0
d
2
]
2gθ
0
.
81