Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 80 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

превышает величину зазора между ними, то крутящий момент может

быть определен без учета краевых полей. В этом случае величина ем-

кости между подвижным и неподвижным электродами будет пропор-

циональна площади перекрытия электродов [16]:

C=2

N⋅ε

S  θ

где N – количество пальцев на подвижном электроде; g – зазор между

пальцами подвижного и неподвижного электродов; θ – угол поворота

микрозеркала.

Изменение площади перекрытия электродов является нелинейной

функцией от угла поворота микрозеркала и будет увеличиваться до тех

пор, пока верх пальцев подвижного электрода не поравняется с верхом

пальцев неподвижного электрода (рис. 55).

Рис. 55. Модель движения электростатического гребенчатого

актюатора