ВУЗ:
Составители:
Резонансная частота определяется следующим выражением [16]:
ω
r
=
3⋅U
max
2
⋅N⋅ε
0
⋅
[
t−g
0
2
sin
2
θ
0
−d
2
]
2⋅g⋅ρ⋅t
m
⋅w
m
⋅ λ⋅N
p
3
,
где ρ – плотность;
t
m
– толщина микрозеркала;
w
m
– ширина ми-
крозеркала; λ – длина волны;
N
p
– оптическое разрешение микро-
зеркала, определяемая выражением^
N
p
=
8⋅θ
0
⋅L
m
a⋅λ
,
где
L
m
– полудлина микрозеркала;a – фактор модели, определяемый
экспериментально (для квадратного микрозеркала a=1).
В настоящее время разработано большое количество интеграль-
ных микрозеркал с гребенчатыми электростатическими актюаторами.
На рис. 56 представлены структуры интегральных микрозеркал с
гребенчатыми электростатическими актюаторами, получившие широ-
кое распространение [16].
Контрольные вопросы
1. Интегральное микромеханическое зеркало с планарной электро-
статической активацией.
2. Интегральное микромеханическое зеркало с ЭМД.
3. Интегральное микромеханическое зеркало с гребенчатой элек-
тростатической активацией.
10. Интегральные микродвигатели
В настоящее время известны следующие типы интегральных ми-
кродвигателей [16]:
82
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 80
- 81
- 82
- 83
- 84
- …
- следующая ›
- последняя »
