Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 84 стр.

UptoLike

элемент пьезоэлектрического двигателя, ферромагнитная лента между
статором и ротором в индуктивных волновых двигателях и т.д.), либо
статор и ротор контактируют между собой за счет волновой деформа-
ции пьезоэлектрической керамики. В таких двигателях при использо-
вании точных датчиков положения ротора достигается исключительно
высокая точность его позиционирования. Вместе с тем в этих двигате-
лях серьезной проблемой становится механическое изнашивание кон-
тактирующих элементов статора и ротора [16].
В ЭВПД используется бесконтактный, а в ЭДПД и ПД контакт-
ные способы передачи энергии. В первом случае ротор не касается по-
верхности статора, силовое сцепление ротора со статором осуще-
ствляется благодаря концентрации полей (электрического или магнит-
ного) над зубцами ротора и статора. Преимущество обусловлено тем,
что отсутствует изнашивание поверхностей ротора и статора [16].
Основной недостаток невысокая точность позиционирования
шаговых двигателях), определяемая размерами зубцов ротора и стато-
ра. Высокой точности позиционирования можно достичь только при
чрезвычайно малых размерах этих зубцов и при очень высокой точно-
сти их изготовления. Такое решение значительно усложняет техноло-
гию изготовления двигателя, существенно увеличивает его стоимость
[16].
Электростатические воздушные планарные микродвигатели
Основное отличие электростатических воздушных планарных ми-
кродвигателей от классических электростатических двигателей ма-
лый зазор между статором и ротором, равный 1-2 мкм классических
электростатических макромашинах он равен 1-2 мм). Малый зазор в
межэлектродном пространстве определяет относительно высокую
плотность "накачиваемой" в образец электрической энергии и, следо-
вательно, эффективность двигателя. Разрабатываются ЭВПД враща-
тельного движения и возвратно-поступательного движения. Ротор в
первом случае расположен в подшипниках, во втором скользит по
направляющим. Можно обеспечить достаточно высокую надежность
этих двигателей при указанных в литературе основных параметрах
(для микродвигателя вращения с диаметром ротора 100 мкм): напря-
жение электропитания 100 В; скорость вращения ротора 50000 об/
84