Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 86 стр.

UptoLike

τ
1
=
2π
n
1
;
τ
2
=
2π
n
2
,
где
τ
1
, τ
2
угловой шаг полюсов статора и ротора соответственно;
n
1
, n
2
– количество полюсов на статоре и роторе соответственно.
Рассмотрим работу планарного электростатического микродвига-
теля. Предположим, что напряжение приложено к полюсу статора 1
(рис. 57,а), т.е. микродвигатель находится в относительном равнове-
сии. Если напряжение будет приложено к полюсу 2 статора, то поло-
жение ротора изменится так, что он займет новое положение относи-
тельно данного полюса, т.е. вращающий момент, действующий на ро-
тор, повернет его на некоторый угол φ (рис. 57,б). Далее цикл повторя-
ется.
Шаг приращения угла поворота ротора
τ
s
планарного микродви-
гателя может быть определен с помощью следующего выражения [16]:
τ
s
=min
{
τ
1
iτ
2
}
=2πmin
{
1
n
1
i
n
2
}
=
2π
n
1
n
2
min
{
n
2
in
1
}
,
i
[
0, n
2
1
]
.
Если количество полюсов статора будет меняться в диапазоне
j
[
0,q1
]
,где q – количество фаз, то выражение (56) примет следу-
ющий вид:
,
i
[
0, n
2
1
]
, j
[
0,q1
]
.
Угловая частота планарного электростатического микродвигателя
может быть определена с помощью следующего выражения [16]:
86