Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 88 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

носительно статора по направляющим (по опорам) 4. При подаче им-
пульса напряжения между лепестком 3, находящимся в исходном со-
стоянии (А), и электродом 6 происходит электростатический накат ча-
сти поверхности лепестка на поверхность сегнетоэлектрика (состояние
В). Перемещающаяся в пространстве металлическая пленка изгибает-
ся, происходит ее натяжение и она передает движение пластине 2, осу-
ществляя таким образом электромеханическое преобразование энер-
гии. Длина наката
l
r
t
возрастает во время действия импульса
напряжения
t
p
, соответственно изменяется во времени и шаг
h t
перемещения ротора [16].
После прекращения действия импульса напряжения лепесток под
действием упругих сил, возникающих при его изгибе, возвращается в
исходное положение А (при одиночном импульсе напряжения) или
переходит в новое положение С, характерное для непрерывного дви-
жения ротора (при подаче на образец серии импульсов); при этом ро-
тор продвигается по инерции на расстояние
h
∑
. От длительности
этого процесса (процесса отлипания лепестка от поверхности сегнето-
электрика) зависит минимальный интервал времени между соседними
импульсами напряжения, т.е. максимальная частота следования f этих
импульсов и соответственно мощность, развиваемая микродвигателем.
При подаче на образец второго импульса напряжения движущаяся пла-
стина с лепестками делает еще один шаг и переходит в состояние Е.
После окончания импульса происходит пролет ротора по инерции в со-
стояние D (и изменение конфигурации лепестков, аналогичное пози-
ции С). При поступлении третьего импульса и далее движение проис-
ходит аналогично: от позиции В к позиции С с соответствующим пере-
мещением пластины 2 [16].
Распластывание лепестка под действием электростатических сил
начинается с момента касания поверхности лепестка и сегнетоэлектри-
ка – процесса "захвата" лепестка, который определяет дальнейший ха-
рактер "электронного приклеивания" лепестка к поверхности сегнето-
электрика.
Процесс отлипания лепестка определяют силы, удерживающие
концы лепестков у поверхности сегнетоэлектрика – адгезионные, гид-
родинамические, электростатические силы, связанные с остаточными
электрическими зарядами в диэлектрике, точнее, с поверхностной
88

Страницы