Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 90 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Пьезоэлектрический микродвигатель

Принцип работы пьезоэлектрических микродвигателей основан на

преобразовании колебаний пьезоэлектрического статора во вращатель-

ное движение полупроводникового ротора [16].

На рис. 59 представлена структура пьезоэлектрического микро-

двигателя, состоящего из статора и ротора [16].

Рис. 59. Пьезоэлектрический микродвигатель

Статор представляет собой мембрану, закрепленную на подложке

с помощью упругого подвеса (рис. 60). В центре мембраны располо-

жен пьезоэлектрический слой ZnO. Диаметр статора – 2 мм.

При отсутствии внешнего напряжения статор и ротор находятся в

покое (рис. 61,а). При подаче импульса напряжения на пьезоэлектри-

ческий актюатор статора происходит изменение его геометрических

размеров, что, в свою очередь, приводит к деформации зубцов ротора

(рис. 61,б). Таким образом, ротор под действием сил упругости смеща-

ется на некоторое расстояние вокруг своей оси. Когда напряжение

убирается, статор возвращается в первоначальное положение, а ротор

оказывается смещенным на некоторое расстояние относительно своего

первоначального положения. Далее цикл повторяется.