Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 91 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Рис. 60. Статор пьезоэлектрического микродвигателя

Рис. 61. Принцип работы пьезоэлектрического микродвигателя:

а – до активации пьезоактюатора;

б – после активации пьезоактюатора

Данный вид микродвигателей изготавливается с использованием

LIGA-технологии, позволяющей создавать роторы устройства с

большим аспектным отношением. Основным недостатком данной

конструкции микродвигателя является наличие операции микросборки

в технологическом процессе изготовления, что не позволяет использо-

вать групповые методы изготовления и снижает степень интеграции

данных устройств.