ВУЗ:
Составители:
Контрольные вопросы
1. Электростатические воздушные планарные микродвигатели.
2. Электростатические диэлектрические планарные микродвигате-
ли.
3. Пьезоэлектрические микродвигатели.
11. КАТУШКИ ИНДУКТИВНОСТИ В МИКРОСИСТЕМАХ.
ЧАСТЬ 1
Широкое распространение технологий сверхвысокочастотных ин-
тегральных схем (СВЧ ИС), позволяющих изготавливать миниатюр-
ные устройства, привело к бурному развитию микросистем, в ре-
зультате чего появились элементы высокочастотных (ВЧ) и СВЧ схем,
размеры которых составляют гораздо меньше их длины волны. Меха-
нические микроустройства нашли свое применение в таких областях
техники, как системы беспроводной связи, устройства по-
зиционирования, военная и бытовая электроника, а также датчики для
автомобилей. Высокоэффективные маломощные ВЧ приемопе-
редатчики стали составной частью многих из этих устройств. В на-
стоящее время существует довольно большой круг задач, который не-
льзя решить, применяя традиционные технологии изготовления ИС.
Например, невозможно получить компоненты с высокой до-
бротностью (Q
s
> 30), необходимые для обеспечения высокой изби-
рательности в ВЧ системах связи. Q
s
планарных спиральных катушек
индуктивности и конденсаторов на высоких частотах составляет по-
рядка 10, поэтому для получения требуемых значений добротности
применяют внешние индукторы и перестраиваемые конденсаторы
[14].
Использование фильтров на объемных и поверхностных акусти-
ческих волнах (ПАВ) и перестраиваемых колебательных контуров в
мобильных устройствах связи приводит к повышению требований к
размерам приемопередатчиков. Актуальной является и задача по-
строения полностью интегрированных планарных катушек индук-
тивности и конденсаторов для микросистем и монолитных СВЧ ИС,
что представляет собой довольно сложную проблему, поскольку тра-
диционные индуктивные элементы являются трехмерными. Объеди-
92
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 90
- 91
- 92
- 93
- 94
- …
- следующая ›
- последняя »
