Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 89 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

неоднородностью распределения зарядов под площадью лепестка [16].

Рис. 58. Принцип работы планарного микродвигателя

на основе тонких сегнетоэлектрических пленок:

1 – статор; 2 – ротор; 3 – лепесток; 4 – направляющие;

5 – диэлектрическая пленка; 6 – электрод; 7 – подложка

После прекращения действия импульса напряжения в распластан-

ной части лепестков вблизи микронеровностей возникает противодей-

ствие упругих сил локально деформированных участков лепестков и

трех указанных сил.

Как показывают исследования, роль адгезионных сил значительно

меньше роли сил, связанных с остаточными электрическими зарядами.

Площадь физического касания лепестков с диэлектриком много мень-

ше видимой площади их касания, а адгезионные силы проявляют себя

только при прямом контакте двух тел. Кроме того, не происходит аб-

солютно плотного касания двух поверхностей, воздушный зазор меж-

ду ними составляет от 30 до 200 А° в зависимости от шероховатости

поверхности диэлектрика [16].