ВУЗ:
Составители:
n=
2⋅π
1⋅τ
s
−1
⋅f
,
где f – частота переключения фаз.
Вращающий момент, действующий на ротор, может быть описан
следующим выражением:
M =
ΔW
Δϕ
=
1
2
ΔC
τ
s
U
2
,
где
ΔC
– изменение емкости между статором и ротором.
Электростатические диэлектрические планарные
микродвигатели
В электростатических диэлектрических планарных двигателях ми-
кродвижение создается при электростатическом накате металлизиро-
ванной органической пленки на поверхность металла или диэлектрика
(слои SiO2, Al2O3) в зависимости от того, куда обращен слой металли-
зации. Основным элементом ЭДПД является пленочная петля (диа-
метр – несколько миллиметров) из металлизированной пленки поли-
этилентерефталата. Характерная особенность ЭДПД – накопление
объемного заряда в диэлектрике при каждом акте электростатического
наката. Этот заряд формируется на глубоких энергетических центрах
(ловушках), характерных для широкозонных некристаллических ди-
электриков и препятствует повторному накату металлической пленки.
Уменьшение влияния объемного заряда возможно за счет использова-
ния импульсов напряжения с более сложной формой – наполнения их
более короткими импульсами с разной полярностью. Однако в этом
случае значительно снижается энергетическая эффективность микро-
двигателя [16].
Схематически принцип работы такого микродвигателя иллюстри-
рует рис. 58 [16].
Неподвижная пластина (статор) 1 представляет собой кремниевую
подложку 7, на поверхность которой последовательно нанесен элек-
трод 6, а затем сегнетоэлектрическая пленка 5. Подвижная пластина
(ротор) 2, разделенная от статора зазором d, с синтезированными на ее
поверхность металлическими лепестками 3 длиной l перемещается от-
87
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 85
- 86
- 87
- 88
- 89
- …
- следующая ›
- последняя »
