ВУЗ:
Составители:
мин; мощность – 10-6 Вт. В ЭВПД трудно осуществить суммирование
мощностей. Поэтому маловероятно, что они найдут применение в точ-
ной механике широкого назначения. В технологии этих микродвига-
телей используются дорогостоящие операции: изготовление размеров
деталей с точностью не ниже 0,1 мкм; глубокое прецизионное химиче-
ское травление и т.д. [16].
Принцип работы планарных электростатических микродвигателей
заключается в преобразовании электрической энергии в механиче-
скую, выраженную во вращательном движении ротора [5].
На рис. 57 представлен планарный электростатический микродви-
гатель с двенадцатью полюсами статора (
n
1
=12
) и восьмью – ротора
(
n
2
=8
) [16].
а б
Рис. 57. Планарный электростатический двигатель:
а – начальное положение ротора микродвигателя;
б – перемещение ротора микродвигателя
Достоинствами данного вида электростатических микродвига-
телей являются простота конструкции и ни столь строгие требования к
структурному материалу микродвигателя.
В основном, в качестве структурного материала планарных ми-
кродвигателей, используются электропроводящие материалы.
Угловой шаг размещения полюсов статора и ротора определяется
следующим выражением (рис. 57) [16]:
85
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 83
- 84
- 85
- 86
- 87
- …
- следующая ›
- последняя »
