Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 83 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ТТИ ЮФУ | Таганрог

Составители: 

Рубрика: 

1. Электростатические воздушные планарные микродвигатели
(ЭВПД).
2. Электростатические диэлектрические планарные микродвигате-
ли (ЭДПД).
3. Пьезоэлектрические микродвигатели (ПД).
а
б
Рис. 56. Интегральные микрозеркала
с гребенчатыми электростатическими актюаторами:
а – одноосное микрозеркало, изготавливаемое в
рамках технологии поверхностной микрообработки;
б – одноосное микрозеркало, изготавливаемое в
рамках технологии объемной микрообработки
В электромеханике известны два способа передачи энергии от ста-
тора к ротору – контактный и бесконтактный [16].
В случае контактного способа передачи энергии от статора к рото-
ру либо используются специальные элементы (фрикционная вставка в
83

Страницы