Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 77 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

отклоняющих электродов. Использование технологии поверхностной

микрообработки при изготовлении микрозеркал не позволяет получить

больших зазоров, а применение объемной микрообработки снижает

интеграцию элементов МСТ с ИС. Для устранения данного недостатка

при изготовлении микрозеркал по технологиям поверхностной обра-

ботки применяется самосборка с использованием электростатических

двигателей (ЭМД).

Рис. 50. Интегральное двуосное микрозеркало,

выполненное по технологии объемной микрообработки

Рис. 51. Двуосное микрозеркало,

выполненное с использованием операции микросборки