Компоненты микросистемной техники. Часть 1. Коноплев Б.Г - 73 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

ных микрооптикоэлектромеханических системах.

На рис. 46 приведена структура интегрального микрозеркала с

электростатической активацией, изготовленного с использованием

MUMPs-технологии [16].

Отклонение структуры микрозеркала осуществляется с помощью

электростатического актюатора, создаваемого пластинами, выполнен-

ными из слоя поликремния (poly0) и второго структурного слоя

(poly2).

Рис. 46. Интегральное микрозеркало с электростатической активацией,

изготовленное с использованием MUMPs-технологии

Структуру микрозеркала заземляют (poly2) и на отклоняющий

электрод (poly0) подают напряжение. Между структурой микрозеркала

и отклоняющим электродом возникает электростатическая сила, кото-

рая отклоняет микрозеркало. Движение микрозеркала осуществляется

за счет изгиба упругой консольной балки.

Недостатками данной структуры являются отсутствие функцио-

нальной возможности отклонения микрозеркала в обе стороны и поте-

ря площади кристалла, связанная с необходимостью размещения якоря

(anchor2) и упругой консольной балки микрозеркала.

На рис. 47 приведена структура интегрального микрозеркала с

электростатической активацией, изготавливаемого по технологии по-

верхностной микрообработки [16].

При подаче напряжения на один из отклоняющих электродов

между ним и структурой микрозеркала возникает электростатическая

сила, которая притягивает микрозеркало к отклоняющему электроду.