ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
К68 Автоматизация технологического проектирования РЭС: Учеб. по-
собие. Тамбов: Изд-во Тамб. гос. техн. ун-та, 2006. 76 с.
Рассмотрены вопросы моделирования интегральных микротехнологий,
физико-топологического проектирования и процессы получения нанострук-
турных материалов для элементов РЭС.
Предназначено для студентов специальности 210201 при изучении обще-
инженерного курса «Автоматизация технологического проектирования радио-
электронных средств» всех форм обучения.
УДК 621.384.2(075)
ББК з844-02-5-05я73
Тамбовский государственный
технический университет (ТГТУ), 2006
Королев А.П., Баршутин С.Н., 2006
Учебное издание
КОРОЛЕВ Андрей Павлович,
БАРШУТИН Сергей Николаевич
АВТОМАТИЗАЦИЯ ТЕХНОЛОГИ-
ЧЕСКОГО ПРОЕКТИРОВАНИЯ
РЭC
Учебное пособие
Редактор Е.С. Мордасова
Компьютерное макетирование Е.В. Кораблевой
Подписано к печати 27.04.2006
Гарнитура Тimes New Roman. Формат 60 × 84/16. Бумага офсетная.
Печать офсетная. Объем: 4,42 усл. печ. л.; 4,34 уч.-изд. л.
Тираж 100 экз. С. 261
М
Издательско-полиграфический центр ТГТУ
392000, Тамбов, Советская, 106, к. 14
ISBN 5-8265-0452-8
