ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
Рис. 1.13 Зависимости линейного В/А и параболического В коэффициентов
скорости окисления от температуры для кремниевых кристаллов с ориента-
цией 〈100〉 и 〈111〉 при окислении пирогенным влажным кислородом и дав-
лении 1…20 ат
В
/А, мкм/ч
100
50
20
10
5
2
1
0,5
0,2
0,1
0,05
0,02
0,75 0,8 0,85 0,9 1000
T
, K
–
1
20
5
1ат
0,75 0,8 0,85 0,9 1000
T
, K
–
1
100
50
20
10
В
, мкм
2
/ч
0,5
0,2
0,1
0,05
0,02
1ат
20
10
5
