ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ …………………………………………………………. 3
1 МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОТЕХНОЛО-
ГИЙ ………………………………………………………....
4
1.1 Модели процессов ионного легирования ……………. 4
1.2 Модели диффузионных процессов …………………... 13
1.3 Модели термического окисления …………………….. 21
1.4 Моделирование граничных процессов ……………..... 31
1.5 Моделирование процесса эпитаксии ………………… 35
1.6 Модели электрофизических параметров для физико-
топологического расчета полупроводниковых структур 38
1.7 Модели процессов термогенерации в сильнолегирован-
ных полупроводниковых структурах ……………..
47
2 ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И МЕТОДЫ ИССЛЕДО-
ВАНИЯ НОВЫХ НАНОСТРУКТУРНЫХ МАТЕРИАЛОВ
………………………….................................................... 48
2.1 Технология получения и свойства нанопорошков ….. 50
2.1.1 Химические методы синтеза нанопорошков ….. 50
2.1.2 Физические методы ……………………………... 51
2.1.3 Механические методы …………………………... 52
2.2 Объемные наноструктурные материалы …………….. 54
2.3 Особенности модели наноструктур ………………….. 55
2.4 Необычные свойства наноструктурных материалов и
области их применений …………..…………………...
57
2.5 Диагностика наноструктур …………………………… 60
2.5.1 Рентгеноструктурный анализ …………………... 61
2.5.2 Определение размеров частиц ……….…………. 62
2.6 Теория и практика моделирования нанообъектов ….. 68
ЗАКЛЮЧЕНИЕ .................................................................................. 74
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ ………………………………................. 75
