Составители:
Рубрика:
103
употребительных
методов
можно
отметить
механические
,
электрические
,
магнитные
,
гравиметрические
,
радиационные
,
оптические
,
радиочастотные
методы
(
КИТ
)
и
др
.
Одним
из
способов
контроля
процесса
осаждения
пленок
является
измерение
потока
паров
испаряемого
вещества
.
Для
измерения
плотности
потока
паров
на
практике
применяют
несколько
способов
,
в
основе
которых
лежат
различные
по
своей
природе
физические
процессы
.
Наиболее
массовое
распространение
получили
датчики
потока
,
принцип
работы
которых
основан
на
ионизации
молекул
испаренного
вещества
(
рис
. 2.16).
Источником
электронов
служит
накальный
вольфрамовый
катод
,
выполненный
в
виде
тонкой
нити
.
Электроны
ускоряются
электрическим
полем
и
ионизуют
молекулы
испаренного
материала
.
На
коллектор
ионов
,
выполненный
в
виде
цилиндра
,
диска
или
просто
изогнутой
проволоки
,
подается
отрицательное
напряжение
.
Контроль
плотности
потока
паров
определяют
по
ионному
току
в
цепи
анод
-
катод
.
Ионизационный
датчик
располагают
таким
образом
,
чтобы
он
не
затенял
подложку
во
время
напыления
,
а
поток
испаренного
вещества
беспрепятственно
мог
поступать
в
полость
датчика
.
Чувствительность
метода
зависит
от
конструкции
датчика
,
расстояния
от
испарителя
и
природы
испаряемого
материала
.
Измерение
массы
осажденного
слоя
также
может
лежать
в
основе
метода
контроля
процесса
вакуумного
осаждения
покрытий
.
В
этом
случае
датчики
регистрируют
вес
осажденного
вещества
или
измеряют
изменение
частоты
колебаний
небольшого
кристалла
кварца
,
на
поверхность
которого
осаждается
слой
.
Датчики
,
чувствительные
к
изменению
массы
,
могут
быть
использованы
для
любых
испаряемых
материалов
.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 101
- 102
- 103
- 104
- 105
- …
- следующая ›
- последняя »
