Составители:
Рубрика:
106
При
осаждении
слоя
происходит
отклонение
от
нулевого
положения
и
изменение
количества
света
,
падающего
на
каждый
из
фотодиодов
.
Происходит
разбаланс
мостовой
схемы
,
в
плечи
которой
включены
фотодиоды
.
Возникающий
при
этом
ток
протекает
через
катушку
амперметра
и
создает
силу
,
которая
возвращает
рамку
со
стрелкой
в
исходное
положение
.
Этот
ток
усиливается
и
подается
в
систему
регистрации
,
например
,
на
самописец
.
Помимо
микровзвешивания
,
контроль
изменения
массы
осаждаемого
вещества
может
быть
осуществлен
по
измерению
ухода
резонансной
частоты
кристаллической
пластины
,
являющейся
чувствительным
элементом
кварцевого
измерителя
толщин
.
Датчики
с
кристаллическими
резонаторами
для
измерения
массы
пленки
имеют
относительно
простую
конструкцию
(
рис
.
2.18).
В
качестве
материала
резонаторов
используют
кристаллический
кварц
.
Резонатор
представляет
собой
тонкую
пластинку
кварца
,
по
обе
стороны
которой
нанесены
электрические
контакты
.
При
изготовлении
кварцевого
резонатора
исходный
монокристалл
ориентируют
специальным
образом
,
для
того
чтобы
свести
к
минимуму
температурную
зависимость
резонансной
частоты
резонатора
.
Этому
требованию
отвечает
срез
,
плоскость
которого
составляет
угол
от
35º10
′
до
35º20
′
с
плоскостью
СХ
,
как
показано
на
рис
. 2.19.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 104
- 105
- 106
- 107
- 108
- …
- следующая ›
- последняя »
