Составители:
Рубрика:
107
Рис
. 2.18.
Кварцевый
датчик
Пластина
0
X
u
~35°
Рис
. 2.19.
Ориентация
кристалла
кварца
при
изготовлении
резонаторной
пластины
Кристаллы
резонатора
обычно
представляют
собой
пластины
круглой
или
квадратной
формы
размером
(10-15)
мм
.
Пластины
крепят
в
держатели
,
позволяющие
легко
их
снимать
и
устанавливать
вновь
.
Для
устранения
ухода
резонансной
частоты
при
изменении
температуры
резонатора
,
держатели
поддерживаются
при
постоянной
температуре
.
Для
этого
их
закрепляют
на
металлических
трубках
небольшого
диаметра
,
по
которым
циркулирует
вода
.
Кроме
этого
,
температурный
дрейф
частоты
колебаний
датчика
может
быть
учтен
программными
средствами
при
условии
измерения
температуры
кристалла
резонатора
.
Рабочая
частота
резонатора
обычно
выбирается
в
пределах
(5-6)
МГц
;
по
мере
увеличения
толщины
слоя
резонансная
частота
уменьшается
.
При
достижении
предельной
толщины
слоя
(
при
частоте
≈
4
МГц
)
генерация
колебаний
срывается
,
и
кристалл
резонатора
приходится
менять
на
новый
.
Удаление
осажденного
слоя
удобнее
всего
осуществлять
химическим
способом
.
В
случае
получения
пленок
нерастворимых
и
химически
устойчивых
веществ
перед
их
осаждением
рекомендуется
напылить
на
чистую
пластину
резонатора
тонкий
слой
алюминия
,
после
чего
напылённая
пленка
легко
снимается
в
растворе
щелочи
.
Датчики
с
кварцевым
резонатором
являются
измерителями
массы
осажденного
вещества
,
поэтому
для
определения
толщины
слоя
необходимо
знать
площадь
поверхности
резонаторной
пластины
,
на
которую
осаждается
пленка
,
а
также
плотность
самого
осаждаемого
слоя
.
Если
площадь
поверхности
под
осаждаемым
слоем
есть
величина
постоянная
,
то
плотность
слоя
зависит
от
условий
его
получения
,
в
первую
очередь
,
от
остаточного
давления
в
вакуумной
камере
и
температуры
кристалла
.
Причем
температура
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 105
- 106
- 107
- 108
- 109
- …
- следующая ›
- последняя »
