Составители:
Рубрика:
109
CdS
4.83 1.02
MnS
3.99 0.94
W
19.3 0.163
CdTe
5.85 0.98
Mo
10.2 0.257
WC
15.6 0.151
CeF3
6.16 1
Na
0.97 4.8
Y2O3
5.01 1
CeO2
7.13 1
NaCl
2.17 1.57
Zn
7.04 0.514
Co
8.71 0.343
Nb
8.57 0.493
ZnO
5.61 0.556
Cr
7.2 0.305
Nb2O5
4.47 1
ZnS
4.09 0.775
Cr2O3
5.21 1
Ni
8.91 0.331
ZnSe
5.26 0.722
Cu
8.93 0.437
Pb
11.3 1.13
ZrO2
5.6 1.001
CuS
4.6 0.82
PbS
7.5 0.566
CuS (B)
5.8 0.67
Pd
12 0.357
CuS (А)
5.6 0.69
Pt
21.4 0.245
Помимо
указанных
способов
,
для
контроля
процесса
вакуумного
осаждения
используется
ряд
методов
,
основанных
на
различных
оптических
явлениях
.
Анализ
поглощения
,
пропускания
,
отражения
,
а
также
интерференционных
явлений
позволяет
судить
о
толщине
осаждаемого
слоя
.
Широкое
распространение
получил
фотометрический
метод
контроля
толщин
,
основанный
на
возникновении
интерференционной
картины
при
прохождении
или
отражении
света
от
поверхности
,
на
которую
осуществляется
осаждение
слоя
.
Остановимся
на
подробном
рассмотрении
этого
метода
.
При
работе
«
на
просвет
»,
т
.
е
.
в
проходящем
свете
,
суть
метода
заключается
в
следующем
.
Если
поток
параллельных
лучей
квазимонохроматического
света
(
рис
.
Ошибка! Источник ссылки не найден.
)
падает
на
поверхность
контрольного
образца
,
то
часть
излучения
пройдет
через
подложку
(
лучи
1-1, 2-2
).
Часть
же
излучения
отразится
от
границы
раздела
«
слой
-
воздух
»,
пройдет
через
осаждаемую
пленку
,
отразится
от
границы
раздела
«
слой
-
подложка
»,
снова
пройдет
через
осаждаемую
пленку
(
луч
1
′
-1
′
)
и
на
выходе
встретится
с
соседним
падающим
лучом
(
2-2
).
В
результате
интерференции
лучей
1
′
и
2
интенсивность
прошедшего
излучения
будет
зависеть
от
толщины
осаждаемой
пленки
.
Если
разность
хода
этих
лучей
равна
λ
(
что
получается
при
оптической
толщине
слоя
,
кратной
λ
/2),
то
при
сложении
электромагнитных
колебаний
в
результате
интерференции
проходящее
излучение
с
длиной
волны
λ
усиливается
.
Минимум
интенсивности
излучения
будет
в
том
случае
,
когда
оптическая
толщина
пленки
равна
или
кратна
λ
/
4.
Таким
образом
,
анализируя
интерференционную
картину
путем
измерения
интенсивности
прошедшего
излучения
,
можно
определить
оптическую
толщину
осаждаемого
слоя
.
В
качестве
иллюстрации
на
рис
. 2.21
представлены
зависимости
изменения
интенсивности
прошедшего
света
от
толщины
осаждаемого
слоя
селенида
цинка
и
германия
на
стеклянный
контрольный
образец
при
λ
0
=1,68
мкм
.
Уменьшение
пропускания
для
кривой
2
обусловлено
поглощением
в
пленках
германия
,
для
которого
мнимая
часть
комплексного
показателя
преломления
в
приведенном
примере
составляет
k
=0,055.
Наиболее
удобно
осуществлять
контроль
толщины
слоя
по
сигналу
фотометрической
системы
в
точках
экстремума
.
Для
этого
необходимо
знать
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 107
- 108
- 109
- 110
- 111
- …
- следующая ›
- последняя »
