Составители:
Рубрика:
111
Так
как
вблизи
точки
экстремума
при
сохранении
постоянной
скорости
осаждения
слоя
сигнал
изменяется
незначительно
,
погрешность
измерения
толщины
слоя
может
быть
весьма
велика
.
Так
,
например
,
погрешность
при
осаждении
четвертьволнового
слоя
ZnS
на
стеклянный
образец
при
ошибке
фотометрической
системы
в
1 %
может
достигать
17 %.
Улучшить
точность
измерений
можно
увеличением
числа
экстремумов
при
заданной
толщине
слоя
,
что
достигается
уменьшением
реперной
длины
волны
λ
0
.
Однако
не
всегда
спроектированные
покрытия
в
своей
структуре
имеют
четвертьволновые
или
кратные
им
слои
.
В
случае
неравнотолщинных
покрытий
фотометрический
контроль
толщины
слоя
может
быть
осуществлен
следующим
способом
.
С
учетом
значений
оптических
констант
контрольного
образца
и
осаждаемого
слоя
на
длине
контроля
λ
0
,
для
каждого
слоя
рассчитывается
ход
изменения
интенсивности
прошедшего
(
отраженного
)
излучения
в
зависимости
от
изменения
толщины
пленки
,
осаждаемой
на
контрольный
образец
.
Далее
,
в
процессе
напыления
,
в
реальном
времени
по
предварительно
рассчитанному
характеру
изменения
интенсивности
прошедшего
излучения
определяется
толщина
осаждаемого
слоя
,
даже
если
его
оптическая
толщина
не
равна
(
кратна
)
λ
0
/4
.
Адаптировав
под
поставленную
задачу
выражения
для
расчета
характеристик
излучения
,
прошедшего
через
тонкопленочную
систему
,
приведенные
в
первой
части
,
можно
рассчитать
изменение
интенсивности
прошедшего
излучения
в
зависимости
от
толщины
осаждаемого
слоя
.
Здесь
переменной
будет
не
длина
волны
λ
0
,
как
в
выражении
(2.6),
а
оптическая
толщина
напыляемого
слоя
.
Тогда
общее
уравнение
,
связывающее
электрические
векторы
падающего
,
отраженного
и
прошедшего
излучений
в
рассматриваемом
многослойном
покрытии
,
имеет
вид
,
0
)(
1
1
)(
)(
)(
0
0
0
1
1
0
1
1
=
+
=
−
=
−
+
+
+
∏∏
xE
R
R
xMt
xE
xE
nm
m
n
m
m
n
n
(2.7)
где
,)(
)()(
)()(
=
δ−δ
δ−δ
xixi
m
xi
m
xi
m
mm
mm
ееR
еRе
хM
(2.8)
фазовая
толщина
<≤
−
=−
=
nm1 если
),1(
2
если),1(
2
)(
m
m
m
m
m
m
n
k
iD
nm
n
k
ix
х
π
π
δ
, (2.9)
x
–
текущая
и
конечная
D
m
–
оптические
толщины
слоев
.
Из
системы
уравнений
(2.7)
находим
отражение
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 109
- 110
- 111
- 112
- 113
- …
- следующая ›
- последняя »
