Составители:
Рубрика:
110
длину
излучения
λ
0
,
на
которой
производится
фотометрирование
,
и
подсчитать
количество
экстремумов
.
В
этом
случае
оптическая
толщина
слоя
вычисляется
как
,
4
0
λ
=
mD
(2.6)
где
m
–
количество
экстремумов
.
Скорость
напыления
можно
определять
по
времени
,
которое
требуется
для
напыления
пленки
с
толщиной
,
соответствующей
расстоянию
между
двумя
соседними
экстремумами
.
Пленка Подложка
1
2
1'
1'
1
2
Рис
. 2.20.
К
методу
фотометрирования
толщины
пленки
на
«
просвет
»
Рис
. 2.21.
Изменение
пропускания
контрольного
образца
в
зависимости
от
толщины
осаждаемой
пленки
ZnSe (
1
)
и
Ge (
2
)
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 108
- 109
- 110
- 111
- 112
- …
- следующая ›
- последняя »
