Составители:
Рубрика:
115
оптики
и
резонансных
слоев
узкополосных
интерференционных
фильтров
его
значение
не
должно
превышать
1·10
-4
.
Оптические
свойства
пленок
сильно
зависят
от
способа
получения
,
от
технологических
режимов
-
температуры
подложки
,
скорости
осаждения
,
остаточного
давления
в
вакуумной
камере
,
используемых
при
их
изготовлении
пленкообразующих
материалов
,
и
отличаются
от
оптических
констант
исходных
веществ
.
Поэтому
для
успешного
синтеза
любого
оптического
покрытия
должны
быть
с
достаточной
степенью
определены
оптические
характеристики
получаемых
на
практике
тонких
пленок
.
Под
оптическими
характеристиками
понимаются
спектральные
зависимости
показателя
преломления
n
(
λ
)
и
показателя
поглощения
k
(
λ
)
.
Здесь
n
(
λ
)
и
k
(
λ
)
являются
действительной
и
мнимой
частями
комплексного
показателя
преломления
)()()(
~
λ
λ
λ
iknn
−
=
соответственно
.
Для
корректного
синтеза
интерференционных
покрытий
необходимо
достаточно
точно
знать
спектральную
зависимость
показателей
преломления
и
поглощения
пленкообразующих
веществ
.
В
связи
с
этим
возникает
проблема
создания
базы
данных
по
оптическим
константам
тонких
пленок
,
которая
может
быть
также
заложена
и
в
программу
для
расчета
покрытий
с
требуемыми
спектральными
характеристиками
.
Наиболее
полный
список
веществ
,
которые
могут
быть
использованы
в
качестве
пленкообразующих
,
содержит
более
200
веществ
.
Реально
в
видимой
области
спектра
широко
используется
порядка
20
типов
диэлектрических
пленок
.
Примерно
такое
же
количество
используется
и
в
инфракрасной
области
спектра
.
Большую
часть
интерференционных
покрытий
можно
реализовать
,
используя
для
покрытия
лишь
два
материала
:
один
с
высоким
показателем
преломления
,
а
другой
с
низким
.
Чем
сильнее
отличаются
показатели
преломления
,
тем
легче
производить
расчет
.
Тем
не
менее
,
лишь
оперируя
набором
пленкообразующих
веществ
с
различными
значениями
показателя
преломления
в
заданной
области
спектра
,
при
проектировании
оптических
покрытий
можно
в
полной
мере
реализовать
многообразие
их
оптических
свойств
.
Поэтому
при
исследовании
тонких
пленок
наибольшие
усилия
,
несомненно
,
затрачиваются
на
поиски
новых
материалов
,
разработку
технологии
их
получения
и
разработку
методов
напыления
.
Для
определения
оптических
констант
тонких
пленок
на
практике
используется
широкий
спектр
методов
.
Среди
них
такие
,
как
поляриметрические
методы
,
спектрофотометрический
метод
,
волноводный
метод
,
методы
,
основанные
на
измерении
предельного
угла
,
калориметрические
методы
.
Наиболее
широкое
распространение
получил
спектрофотометрический
метод
.
Причиной
тому
послужило
то
обстоятельство
,
что
данная
методика
позволяет
проводить
исследования
в
широком
спектральном
диапазоне
и
не
требует
создания
оригинального
измерительного
оборудования
.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 113
- 114
- 115
- 116
- 117
- …
- следующая ›
- последняя »
