Составители:
Рубрика:
114
излучения
используются
отрезающие
фильтры
26
,
которые
помещаются
перед
входной
щелью
21
.
В
комплексе
предусмотрена
возможность
контроля
оптических
толщин
пленок
по
пропусканию
боковых
образцов
.
В
этом
случае
блоки
пропускания
,
верхний
и
нижний
,
смещаются
на
(55-100)
мм
таким
образом
,
чтобы
оптическая
ось
зеркала
12
прошла
через
защитные
стекла
27
и
27
′
.
При
этом
часть
нижнего
блока
пропускания
,
содержащая
линзы
17
и
20
,
зеркало
18
и
защитное
окно
19
,
смещается
на
то
же
расстояние
.
В
схему
(
рис
. 2.22
б
)
комплекса
при
контроле
по
отражению
входят
оптическая
схема
блока
отражения
,
элементы
вакуумной
установки
и
монохроматора
.
В
этом
случае
источник
излучения
стыкуется
с
блоком
отражения
.
Излучение
от
лампы
накаливания
13
,
помещенной
в
источнике
излучения
,
направляется
плоским
зеркалом
28
на
линзу
29
,
которая
формирует
изображение
нити
лампы
в
плоскости
образца
14
.
Отраженное
от
образца
излучение
попадает
на
линзу
30
,
которая
вместе
с
плоским
зеркалом
31
и
линзой
32
создает
изображение
нити
лампы
на
входной
щели
монохроматора
.
Элементы
28
-
32
оптической
схемы
входят
в
блок
отражения
.
Далее
излучение
попадает
в
монохроматор
и
на
приемник
излучения
.
За
исключением
случая
сквозного
фотометрирования
,
при
измерении
толщины
осаждаемой
пленки
описанным
методом
основной
тонкостью
является
тот
факт
,
что
определение
толщины
осуществляется
на
контрольном
образце
,
в
то
время
,
когда
необходимо
контролировать
толщину
на
подложке
.
Так
как
испаритель
обладает
определенной
диаграммой
направленности
,
то
толщина
осаждаемой
пленки
на
контрольный
образец
будет
отличной
от
толщины
пленки
,
напыляемой
на
подложку
.
Причем
,
следует
отметить
,
что
для
каждого
материала
и
для
каждого
испарителя
будет
своя
диаграмма
направленности
.
Для
определения
коэффициента
К
диагр
,
связанного
с
диаграммой
направленности
,
обычно
для
каждого
испарителя
делают
калибровочное
напыление
и
определяют
разность
толщин
пленок
,
осажденных
на
свидетель
и
на
подложку
.
2.5. Пленкообразующие материалы.
Для
реализации
интерференционных
покрытий
требуются
оптические
пленки
с
различными
коэффициентами
преломления
и
минимальными
оптическими
потерями
в
требуемой
области
спектра
.
Основными
критериями
качества
диэлектрических
пленочных
материалов
являются
:
прозрачность
,
показатель
преломления
,
однородность
,
плотность
,
адгезия
,
твердость
,
механические
напряжения
,
устойчивость
к
воздействию
окружающей
среды
.
Световые
потери
–
поглощение
и
рассеяние
–
в
диэлектрических
пленках
,
используемых
для
интерференционных
покрытий
,
должны
быть
минимальны
.
Для
большинства
многослойных
покрытий
показатель
поглощения
k
составляющих
слоев
не
должен
превышать
1·10
-3
.
Для
покрытий
силовой
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 112
- 113
- 114
- 115
- 116
- …
- следующая ›
- последняя »
