Составители:
Рубрика:
134
для
определения
показателя
преломления
пленки
на
длине
волны
контроля
непосредственно
в
процессе
напыления
,
т
.
е
.
в
вакууме
.
На
рис
.3.2
приведен
спектр
пропускания
однослойных
пленок
As
2
S
3
и
As
2
Se
3
с
коэффициентом
преломления
2,9
на
подложке
из
стекла
с
коэффициентом
преломления
n
3
=1,52.
Оптическая
толщина
пленки
п
2
h
2
много
больше
длины
волны
λ
.
В
некоторой
области
спектра
(
где
пропускание
падает
)
пленка
поглощает
,
и
интенсивность
уменьшается
.
Если
свет
содержит
все
длины
волн
,
и
оптическая
толщина
пленки
nh
постоянна
,
то
в
спектре
будет
наблюдаться
появление
ряда
максимумов
и
минимумов
для
длин
волн
,/4
22
khn
=
λ
к
=
1 , 2 , 3 ,. . . . (3.2)
Если
п
2
>
n
3
,
то
первый
и
все
последующие
минимумы
будут
иметь
место
для
длин
волн
(
)
...3,2,1 ,12/4
22min
=
+
=
kkhn
k
λ
Максимумы
располагаются
в
местах
,
соответствующих
длинам
волн
,
определяемых
рядом
...3,2,1 ,2/4
22max
=
=
λ
kkhn
k
. (3.3)
Т (%)
Длина волны (мкм)
Расчёт
0
10
20
30
40
50
60
70
80
90
100
0,4 0,5 0,6 0,7 0,8 0,9 1,0 1,1 1,2
Рис
. 3.2
Спектр
пропускания
однослойных
пленок
As
2
S
3
и
As
2
Se
3
на
подложке
из
стекла
То
есть
на
пленках
,
толщина
которых
кратна
половине
длины
волны
,
свет
не
отражается
.
В
этом
случае
пропускание
пленки
на
подложке
будет
определяться
только
отражением
на
передней
грани
подложки
и
поглощением
впленке
.
Если
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 132
- 133
- 134
- 135
- 136
- …
- следующая ›
- последняя »
