Проектирование, изготовление и исследование интерференционных покрытий. Котликов Е.Н - 133 стр.

UptoLike

Рубрика: 

133
3.2. Лабораторная работа 2
ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ КОНСТАНТ
ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЁНОК
Цель работы
исследование
оптических
характеристик
диэлектрических
плёнок
спектрофотометрическим
методом
.
Методические указания
Большое
значение
при
изготовлении
интерференционных
покрытий
имеют
оптические
параметры
пленок
,
из
которых
они
сконструированы
.
Особое
место
среди
них
занимают
коэффициент
поглощения
и
показатель
преломления
.
Коэффициенты
поглощения
и
показатели
преломления
пленкообразующих
материалов
в
интересующих
нас
областях
спектра
приведены
на
рис
. 2.24.
Как
правило
,
показатель
преломления
пленки
может
отличаться
от
показателя
преломления
кристалла
на
несколько
процентов
.
Поглощение
пленок
может
отличаться
от
поглощения
монокристаллов
в
10 - 100,
а
иногда
даже
в
десятки
тысяч
раз
.
Существует
много
методик
определения
показателей
преломления
и
коэффициента
поглощения
,
среди
которых
можно
выделить
эллипсометрические
и
спектрофотометрические
методы
.
Для
пленок
,
используемых
в
инфракрасной
и
видимой
области
спектра
,
наиболее
распространенными
являются
именно
спектрофотометрические
методы
.
Суть
большинства
из
них
состоит
в
анализе
спектров
пропускания
и
отражения
света
.
Для
этого
используются
монохроматоры
с
дифракционными
решетками
или
призмами
,
осуществляющие
автоматическое
сканирование
по
спектру
с
одновременной
регистрацией
прошедшего
излучения
.
Наряду
с
этим
,
при
определении
малого
поглощения
в
пленках
в
последнее
время
стали
широко
применяться
калориметрический
метод
.
Преимущество
этого
метода
по
сравнению
со
спектрофотометрическими
методами
заключается
в
том
,
что
при
его
использовании
измеряется
собственное
поглощение
,
идущее
на
джоулево
тепло
,
в
то
время
как
при
анализе
спектров
пропускания
и
отражения
невозможно
сказать
,
связаны
ли
изменения
в
спектрах
с
поглощением
или
с
рассеиванием
.
Кроме
того
,
определение
оптических
параметров
по
спектрам
пропускания
или
отражения
осложняется
наличием
в
спектрах
полос
поглощения
воды
,
адсорбированной
в
порах
пленки
,
и
,
наконец
,
чувствительность
калориметрического
метода
несоизмеримо
выше
,
чем
спектрофотометрического
.
Спектрофотометрические
методы
определения
коэффициентов
преломления
базируются
на
измерении
абсолютного
значения
коэффициента
пропускания
или
отражения
при
разных
длинах
волн
,
т
.
е
.
по
спектрам
пропускания
или
отражения
.
Один
из
применяемых
методов
заключается
в
том
,
что
измеряется
пропускание
в
экстремумах
спектра
.
Этот
метод
также
удобен
тем
,
что
его
можно
использовать