Составители:
Рубрика:
131
Оптическую
толщину
пленок
h
на
длине
волны
λ
0
определяли
по
числу
наблюдаемых
экстремумов
пропускания
света
:
h = d·n
(λ
0
)
=
[
n
(
n
(λ
0
)
)
/
n
(λ
К
)]
k
λ
К
/4,
(3.1)
где
λ
К
–
длина
волны
фотометрического
контроля
,
n(
λ
К
)
–
показатель
преломления
пленки
на
длине
волны
контроля
,
d
–
геометрическая
толщина
пленки
,
n(
λ
0
) –
показатель
преломления
на
длине
волны
λ
0
=
10,6
мкм
,
k
–
число
экстремумов
–
максимумов
или
минимумов
пропускания
света
.
При
k
= 12
длина
волны
фотометрического
контроля
лежит
в
интервале
(0,90 - 0,94)
мкм
.
Относительная
погрешность
измерения
пропускания
фотометрической
системы
не
превышает
0,5%.
Это
обеспечивает
точность
контроля
толщины
напыляемой
пленки
на
длине
волны
10,6
мкм
при
k
= 12
не
хуже
1%.
Скорость
напыления
определяется
по
времени
,
которое
требуется
для
напыления
пленки
с
толщиной
,
соответствующей
расстоянию
между
двумя
соседними
экстремумами
.
Равномерность
пленок
по
толщине
достигается
за
счет
использования
вращающегося
подложкодержателя
и
оптимизации
расположения
испарителей
относительно
подложкодержателя
.
Расстояние
от
тиглей
до
подложек
не
превышает
150
мм
,
что
позволяет
наносить
равнотолщинные
пленки
на
площади
с
диаметром
до
100
мм
,
со
скоростями
до
15
нм
/
с
без
нарушения
стехиометрического
состава
пленок
,
возникающего
за
счет
перегрева
пленкообразующего
материала
при
испарении
.
В
качестве
плёнкообразующих
материалов
в
данной
работе
используются
фторид
свинца
PbF
2
,
селенид
цинка
ZnSe,
фторид
бария
BaF
2
,
фторид
магния
MgF
2
и
сульфид
сурьмы
Sb
2
S
3
.
Оптические
и
механические
свойства
плёнок
приведены
на
рис
.2.24
и
в
таблице
2.3.
Задания к лабораторной работе
Задание
№
1.
Изготовить
5 -
слойное
зеркало
из
четвертьволновых
пленок
селенида
цинка
и
фторида
стронция
на
подложке
из
стекла
или
кварца
,
длина
волны
- 0,85
мкм
.
Изготовленное
зеркало
используется
как
выходное
зеркало
резонатора
полупроводникового
лазера
.
Провести
измерение
спектра
пропускания
и
сравнить
его
с
теоретически
рассчитанным
спектром
.
Задание
№
2.
Изготовить
6 -
слойное
зеркало
из
четвертьволновых
пленок
сульфида
сурьмы
и
фторида
стронция
на
подложке
из
селенида
цинка
,
длина
волны
- 10,6
мкм
.
Контрольную
длину
волны
и
кратность
наблюдаемых
экстремумов
рассчитать
с
преподавателем
.
Зеркало
может
быть
использовано
как
выходное
зеркало
резонатора
СО
2
-
лазера
.
Провести
измерение
спектра
пропускания
и
сравнить
его
с
теоретически
рассчитанным
спектром
.
Задание
№
3.
Изготовить
13 -
слойное
зеркало
из
четвертьволновых
пленок
,
селенида
цинка
и
фторида
стронция
на
подложке
из
стекла
,
длина
волны
- 0,63
мкм
.
Зеркало
может
быть
использовано
как
глухое
зеркало
резонатора
гелий
-
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 129
- 130
- 131
- 132
- 133
- …
- следующая ›
- последняя »
